FFU(Fan Filter Units)是风机和过滤器的组合,也可以称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。
洁净棚是一种专门设计和建造的高度洁净的工作环境，通常用于生产或研究对空气污染特别敏感的产品或设备。
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